- 無塵凈化車間的等級與具體說明
- 日期:2021-10-20 來源:鑫統(tǒng)亞 分享:
無塵凈化車間能夠分為如下幾個級別:1級、百級、千級、萬級、十萬級、30萬級、百萬級。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)目控制在3500個如下,就達到了國際無塵規(guī)范的A級。當前使用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵規(guī)范對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被使用在少許等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)目被嚴格控制在每立方米1000個之內(nèi),這也即是業(yè)內(nèi)俗稱級別中的千級。
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